新型プラチナ抵抗温度計
新型の温度計。1,000℃近い環境でも正確に機能する(画像提供:チノー)

1,000℃近くの高温でも高精度で測定ができる温度計を、産業技術総合研究所(産総研)と温度計メーカーのチノーが開発した。素材にプラチナ(白金)を使っている。

産総研によると、もともと半導体の製造現場などでは、センサー部に白金を使った高精度の抵抗温度計を利用している。

しかしシリコンウエハーや金属などの熱処理に必要な1,000 ℃近くの高温にもなると温度計が不安定になり、白金の部分に熱ひずみが生じて、精度が下がった。

そこで対策を探ったところ、製造段階で白金の部分に適度な熱処理を加えることで、1,000 ℃近くになっても安定することが分かった。また白金の部分に生じる熱ひずみを低減できる構造も採用した。

新型温度計に、安定性を調べるための「熱サイクル試験」を施した結果、世界最高水準の性能だったという。今後、材料プロセスをはじめさまざま研究、産業の分野で活躍しそうだ。