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今回開発された超高精度平面基板(直径100 mm)(左)とその平面形状測定結果(右) 赤色の部分(外周付近)と最も凹んだ青色の部分(中央付近)との凹凸の差が、6 nm以下に |
高精度な平面基板は、反射鏡や半導体で用いられており、より高精度への需要が高まっている。今回、世界最高精度の平面度を提供していた産総研と、独自の研磨技術を持つテクニカル社の協同により、超高精度な平面基板の実現が達成された。
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今回開発された超高精度平面基板(直径100 mm)(左)とその平面形状測定結果(右) 赤色の部分(外周付近)と最も凹んだ青色の部分(中央付近)との凹凸の差が、6 nm以下に |