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テクニカル社のニュース 1 件

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産総研、関東平野の広さに対して5mm 程度の凸凹に相当する、きわめて平坦なガラス基板を開発

産総研とテクニカル社は共同で平面度が約6.3nm の超高精度平面ガラス基板を開発した。これは関東平野の広さに対して約5mm程度の凸凹に相当するもの。新たに開発した角度測定方式を用いた、超高精度平面度測定装置による評価技術を利用。

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